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  国家知识产权局信息数据显现，JSW阿克迪纳体系有限公司请求一项名为“激光照耀设备、激光照耀办法和用来制作化合物半导体器材的办法”的专利，公开号CN121942320A，请求日期为2023年9月。

  专利摘要显现，依据本施行方法的激光照耀设备（1）是如下激光照耀设备，其构构成可以用激光照耀由化合物半导体构成的晶圆，以构成在该晶圆上构成的半导体器材的背电极，所述激光照耀设备（1）包含：台（110），其构构成可以坚持晶圆（W）；激光光源（10），其构构成可以发生激光（L1）；腔室（80），其构构成可以为包容所述台（110）；窗单元（50），其设置在所述腔室（80）中，而且包含所述激光透射穿过的窗（502）；以及集尘器（60），其设置在所述窗单元（50）的正下方，而且设有供应端口（603）和排出端口（602），所述供应端口（603）构构成可以供应气体，所述排出端口（602）构构成可以排出尘埃。

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